Methods and Materials in Microelectronic Technology

مقالات جمع آوری شده در این جلد در سمپوزیوم بین المللی روش ها و مواد در فناوری میکروالکترونیک ارائه شده است. این سمپوزیوم توسط آی بی ام آلمان حمایت مالی شد و از 29 سپتامبر تا 1 اکتبر 1982 در باد نوینهر آلمان غربی برگزار شد. پیشرفت فن آوری نیمه هادی ها و میکروالکترونیک به قدری سریع و زمینه آنقدر پیچیده شده است که تبادل آخرین بینش به دست آمده هر چند وقت یکبار ضروری است. علاوه بر این، برای این زمینه عجیب است که بخش عمده ای از تحقیقات در آزمایشگاه های تحقیق و توسعه صنعتی انجام می شود، که باعث می شود برخی از نتایج به راحتی در دسترس نباشد. به دلیل این شرایط، جامعه دانشگاهی که از جمله قرار است پیشرفت‌های این رشته را به دانش‌آموزان رشته‌های مختلف منتقل کند، اطلاع‌رسانی درست را نسبتاً دشوار می‌یابد. هدف از این سمپوزیوم تحت حمایت IBM این بود که دانشمندان کلیدی را از مؤسسات دانشگاهی، عمدتاً از اروپا، با محققین اصلی صحنه صنعتی گرد هم آورد. بر همین اساس، این سمپوزیوم فناوران را در معرض دید دانشمندان قرار داد و بالعکس. پیشرفت های علمی اغلب مستقیماً به نوآوری های فناوری منجر می شود. به نوبه خود، فن‌آوری‌های جدید اغلب به صورت تجربی به دست می‌آیند و به همین دلیل، در ابتدا به خوبی درک نمی‌شوند. سپس تحقیق علمی سعی می کند این فرآیندها و پدیده ها را بررسی کند تا به درک بهتری دست یابد. بنابراین علم و فناوری به‌طور پیچیده‌ای به هم مرتبط هستند، و مهم است که تبادل فنی بین فن‌آوران و دانشمندان تسهیل شود، زیرا مشکلات معمولاً ماهیت بین‌رشته‌ای دارند.

The papers collected in this volume were presented at the International Symposium on Methods and Materials in Microelectronic Technology. This symposium was sponsored by IBM Germany, and it was held September 29 - October 1, 1982, in Bad Neuenahr, West Germany. The progress of semiconductor and microelectronic technology has become so rapid and the field so sophisticated that it is imperative to exchange the latest insight gained as frequently as it can be accomplished. In addition, it is peculiar for this field that the bulk of the investigations are carried out at industrial research and development laboratories, which makes some of the results less readily accessible. Because of these circumstances, the academic community, which among other things, is supposed to communicate the prog­ ress in this field to students of different disciplines, finds it rather difficult to stay properly informed. It was the intent of this IBM sponsored symposium to bring together key scientists from academic institutions, primarily from Europe, with principal investigators of the industrial scene. Accordingly, this symposium exposed technologists to scientists and vice versa. Scientific advances often lead directly to technological innovations. In turn, new technologies are often arrived at empirically and, because of that, are initially poorly understood. Scientific inquiry then attempts to probe these processes and phenomena in order to achieve a better understanding. Thus science and technology are intricately interconnected, and it is important that technical exchange between technolo­ gists and scientists is facilitated, since the problems are typically interdiscipli­ nary in nature.