Metal Impurities in Silicon- and Germanium-Based Technologies: Origin, Characterization, Control, and Device Impact

این کتاب مروری منحصر به فرد از جنبه های مختلف آلودگی فلزی در نیمه هادی های مبتنی بر Si و Ge ارائه می دهد. همه فلزات مهم از جمله منشاء آنها در طول ساخت کریستال و / یا دستگاه، خواص اساسی آنها، تکنیک های مشخصه آنها و تأثیر آنها بر عملکرد دستگاه های الکتریکی را مورد بحث قرار می دهد. چندین رویکرد کنترلی و احتمالی در نظر گرفته شده است. این کتاب یک راهنمای مرجع ارزشمند برای همه محققان و مهندسانی است که در حال مطالعه دستگاه ها و مدارهای نیمه هادی میکرو و نانو پیشرفته و پیشرفته هستند. با اتخاذ یک رویکرد میان رشته ای، دیدگاه هایی را از جمله ترکیب می کند. علم مواد، مهندسی نقص، پردازش دستگاه، شناسایی نقص و دستگاه، و فیزیک و مهندسی دستگاه.

This book provides a unique review of various aspects of metallic contamination in Si and Ge-based semiconductors. It discusses all of the important metals including their origin during crystal and/or device manufacturing, their fundamental properties, their characterization techniques and their impact on electrical devices’ performance. Several control and possible gettering approaches are addressed. The book offers a valuable reference guide for all researchers and engineers studying advanced and state-of-the-art micro- and nano-electronic semiconductor devices and circuits. Adopting an interdisciplinary approach, it combines perspectives from e.g. material science, defect engineering, device processing, defect and device characterization, and device physics and engineering.