Mechanics of Microsystems

مکانیک میکروسیستم‌ها

آلبرتو کوریلیانو، رافائله آردیتو، کلودیا کومی، آتیلیو فرانگی، آلدو گیسی و استفانو مارانی، پلی‌تکنیک دی میلانو، ایتالیا

رویکردی مکانیکی به میکروسیستم‌ها که مفاهیم اساسی از جمله طراحی MEMS، مدل‌سازی و قابلیت اطمینان را پوشش می‌دهد

مکانیک میکروسیستم ها رویکردی مکانیکی به میکروسیستم ها دارد و مفاهیم اساسی از جمله طراحی MEMS، مدل سازی و قابلیت اطمینان را پوشش می دهد. این کتاب رفتار مکانیکی میکروسیستم‌ها را از دیدگاه «طراحی برای قابلیت اطمینان» بررسی می‌کند و شامل نمونه‌هایی از کاربردها در صنعت است.

مکانیک میکروسیستم‌ها به دو بخش اصلی تقسیم می‌شود. بخش اول دانش پایه مربوط به رفتار میکروسیستم ها را به یاد می آورد و مروری بر ریزسیستم ها و ابزارهای طراحی و مدل سازی اساسی از نقطه نظر مکانیکی به همراه نمونه های عملی بسیاری از میکروسیستم های واقعی ارائه می دهد. بخش دوم خصوصیات مکانیکی مواد را در مقیاس میکرو پوشش می‌دهد و مهم‌ترین مسائل قابلیت اطمینان (شکستگی، خستگی، چسبندگی، پدیده‌های میرایی، و غیره) را که برای ساخت یک دستگاه واقعی ضروری هستند، در نظر می‌گیرد.

ویژگی‌های کلیدی:

• نمای کلی از MEMS، با تمرکز ویژه بر روی میکروسیستم‌های مبتنی بر مکانیکی و مسائل قابلیت اطمینان ارائه می‌کند.
< li>شامل نمونه هایی از برنامه های کاربردی در صنعت است.
• همراه با یک وب سایت میزبان مطالب تکمیلی.

کتاب خواندن ضروری را برای محققان و پزشکانی که با MEMS کار می کنند و همچنین دانشجویان فارغ التحصیل در رشته های مکانیک، مواد و مهندسی برق فراهم می کند.

Mechanics of Microsystems

Alberto Corigliano, Raffaele Ardito, Claudia Comi, Attilio Frangi, Aldo Ghisi and Stefano Mariani, Politecnico di Milano, Italy

A mechanical approach to microsystems, covering fundamental concepts including MEMS design, modelling and reliability

Mechanics of Microsystems takes a mechanical approach to microsystems and covers fundamental concepts including MEMS design, modelling and reliability. The book examines the mechanical behaviour of microsystems from a ‘design for reliability’ point of view and includes examples of applications in industry.

Mechanics of Microsystems is divided into two main parts. The first part recalls basic knowledge related to the microsystems behaviour and offers an overview on microsystems and fundamental design and modelling tools from a mechanical point of view, together with many practical examples of real microsystems. The second part covers the mechanical characterization of materials at the micro-scale and considers the most important reliability issues (fracture, fatigue, stiction, damping phenomena, etc) which are fundamental to fabricate a real working device.

Key features:

• Provides an overview of MEMS, with special focus on mechanical-based Microsystems and reliability issues.
• Includes examples of applications in industry.
• Accompanied by a website hosting supplementary material.

The book provides essential reading for researchers and practitioners working with MEMS, as well as graduate students in mechanical, materials and electrical engineering.