Laser-Assisted Microtechnology

میکروتکنولوژی به کمک لیزر اصول و تکنیک های میکروتکنولوژی به کمک لیزر را با تاکید بر ریزماشین کاری لایه های نازک، ریزپردازش مواد، ریزالگوسازی لیزری بدون ماسک و سنتز سیستم های لایه نازک به کمک لیزر معرفی می کند. اساس تجربی و نظری فیزیکوشیمیایی هر فرآیند تکنولوژیکی به تفصیل ارائه شده است. بر اساس چند مثال مشخص از کاربردها، قابلیت‌های روش‌های تکنولوژیکی و همچنین شرایط بهینه برای تحقق آنها مورد بحث قرار می‌گیرد. در این ویرایش دوم، علاوه بر واقعی سازی ادبیات، فصل جدیدی در مورد میکرو اچینگ شیمیایی مرطوب به کمک لیزر، اضافه شده است. این یک روش جدید برای ساختار ریز سه بعدی جامدات با تعدادی کاربرد بالقوه است.

Laser-Assisted Microtechnology introduces the principles and techniques of laser-assisted microtechnology with emphasis on micromachining of thin films, microprocessing of materials, maskless laser micropatterning and laser-assisted synthesis of thin-film systems. The experimental and theoretical physico-chemical basis of every technological process is presented in detail. On the basis of some characteristic examples of applications, the capabilities of the technological methods as well as the optimum conditions for their realization are discussed. In this second edition, besides the actualization of the literature, a new chapter concerning the laser-assisted wet chemical micro etching, has been added. This is a new method for direct 3D-micro structuring of solids, with a number of potential applications.