Introduction to microsystem technology : a guide for students

ویرایش: 1 
نویسندگان: Gerald Gerlach. Wolfram Dotzel  
سری: Wiley microsystem and nanotechnology series 
ISBN (شابک) : 9780470058619, 0470058617 
ناشر: J. Wiley & Sons 
سال نشر: 2008 
تعداد صفحات: 377 
زبان: English 
فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود) 
حجم فایل: 6 مگابایت 

قیمت کتاب (تومان) : 38,000

بیش از نیم قرن پس از کشف اثر پیزورزیستیو، فناوری میکروسیستم پیشرفت های قابل توجهی را تجربه کرده است. با گسترش فرصت های میکروالکترونیک به سیستم های غیر الکترونیکی، تعداد زمینه های کاربردی آن همچنان در حال افزایش است. ریزحسگرها یکی از مهم ترین زمینه ها هستند که در کاربردهای پزشکی و میکرومکانیک مورد استفاده قرار می گیرند. سیستم های میکروسیال نیز منطقه قابل توجهی هستند که بیشتر در هدهای چاپگر جوهر افشان استفاده می شود.

این کتاب درسی بر روی ملزومات فناوری میکروسیستم ها تمرکز دارد و زمینه ای آگاهانه و مسیری روشن را از طریق این رشته علمی تثبیت شده فراهم می کند. با رویکردی روشمند و دانشجو محور، "مقدمه ای بر فناوری میکروسیستم" موارد زیر را پوشش می دهد: مواد میکروسیستم (شامل سیلیکون، پلیمرها و لایه های نازک)، و اثرات پوسته پوسته شدن میکروسیستم. تکنیک های ساخت بر اساس خواص مختلف مواد، توصیف محدودیت های آنها و عناصر عملکردی و شکلی که توسط این تکنیک ها تولید می شود. حسگرها و محرک‌ها بر اساس عناصری مانند مکانیکی، سیال و حرارتی (قطعات سنسور نرخ انحراف شرح داده شده‌اند). تأثیر پارامترهای فناوری بر ویژگی‌های میکروسیستم، به عنوان مثال، این پرسش که عملکرد دستگاه میکروسیستم چه زمانی قوی و ایمن است؟

این کتاب مشکلاتی را در پایان هر فصل ارائه می‌کند تا بتوانید درک خود را از مفاهیم کلیدی آزمایش کنید (راه‌حل‌های کامل برای این موارد در یک وب‌سایت همراه ارائه شده است). مثال‌های عملی و همچنین مطالعات موردی نیز گنجانده شده‌اند که درک بهتری از فناوری به‌عنوان یک کل را ممکن می‌سازد. این کتاب با پرداختن به مبانی فناوری میکروسیستم، به عنوان خلاصه ای برای مهندسان و تکنسین هایی که با فناوری میکروسیستم کار می کنند نیز عمل می کند.

Over half a century after the discovery of the piezoresistive effect, microsystem technology has experienced considerable developments. Expanding the opportunities of microelectronics to non-electronic systems, its number of application fields continues to increase. Microsensors are one of the most important fields, used in medical applications and micromechanics. Microfluidic systems are also a significant area, most commonly used in ink-jet printer heads.

This textbook focuses on the essentials of microsystems technology, providing a knowledgeable grounding and a clear path through this well-established scientific dicipline. With a methodical, student-orientated approach, ’’Introduction to Microsystem Technology’’ covers the following: microsystem materials (including silicon, polymers and thin films), and the scaling effects of going micro; fabrication techniques based on different material properties, descriptions of their limitations and functional and shape elements produced by these techniques; sensors and actuators based on elements such as mechanical, fluidic, and thermal (yaw rate sensor components are described); the influence of technology parameters on microsystem properties, asking, for example, when is the function of a microsystem device robust and safe?

The book presents problems at the end of each chapter so that you may test your understanding of the key concepts (full solutions for these are given on an accompanying website). Practical examples are included also, as well as case studies that enable a better understanding of the technology as a whole. With its extensive treatment on the fundamentals of microsystem technology, this book also serves as a compendium for engineers and technicians working with microsystem technology

Content: Preface.   List of Symbols.   List of Abbreviations.   1 Introduction.  1.1 What is a Microsystem? 1.2 Microelectronics and Microsystem Technology. 1.3 Areas of Application and Trends of Development. 1.4 Example: Yaw Rate Sensor.  2 Scaling and Similarity.  2.1 Scaling. 2.2 Similarity and Dimensionless Numbers.  3 Materials.  3.1 Overview. 3.2 Single Crystalline Silicon. 3.3 Glasses. 3.4 Polymers. 3.5 Thin Films. 3.6 Comparison of Material Characteristics.  4 Microfabrication.  4.1 Overview. 4.2 Cleanliness During Production. 4.3 Lithography. 4.4 Thin-film Formation. 4.5 Layer Patterning. 4.6 Anisotropic Wet Chemical Deep Etching. 4.7 Doping. 4.8 Bonding Techniques. 4.9 Insulation Techniques. 4.10 Surface Micromachining. 4.11 Near-surface Micromachining. 4.12 HARMST. 4.13 Miniaturized Classical Techniques. 4.14 Selection of Microtechnical Manufacturing Techniques.  5 Packaging.  5.1 Tasks and Requirements. 5.2 Functions of Packaging.  6 Function and Form Elements in Microsystem Technology.  6.1 Mechanical Elements. 6.2 Fluidic Elements.  6.3 Thermal Elements.  7 Sensors and Actuators.  7.1 Reversible and Parametric Transducers. 7.2 Transducers for Sensors and Actuators.  8 Design of Microsystems.  8.1 Design Methods and Tools. 8.2 Systems with Lumped Parameters. 8.3 Systems with Distributed Parameters.  9 Effect of Technological Processes on Microsystem Properties.  9.1 Parameter-based Microsystem Design. 9.2 Robust Microsystem Design.  10 The Future of Microsystems.  10.1 Status and Trends in Microsystem Technology. 10.2 Microoptical Applications. 10.3 Probe Tips. 10.4 RF Microsystems. 10.5 Actuators. 10.6 Microfluidic Systems. 10.7 Chemical, Biological and Medical Systems. 10.8 Energy Harvesting and Wireless Communications. 10.9 Micro Fuel Cells. References.  Appendix A Physical Constants.   Appendix B Coordinate Transformation.  B.1 Elastic Coefficients. B.2 Piezoresistive Coefficients. References.  Appendix C Properties of Silicon Dioxide and Silicon Nitride Layers.  References.  Appendix D Nomenclature of Thin-film Processes.  Reference.  Appendix E Adhesion of Surface Micromechanical Structures.  E.1 Capillary Forces. E.2 Critical Length of Cantilever Springs. Reference.  Index.