Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques

این جلد موضوع تکنیک‌های پیشرفته پردازش پلاسما، از فیزیک بنیادی پلاسما گرفته تا تشخیص، مدل‌سازی و کاربردهایی مانند اچ کردن و رسوب‌گذاری برای میکروالکترونیک را پوشش می‌دهد. استفاده از پلاسما برای الگوبرداری در مقیاس زیر میکرونی، نسل‌های متوالی ترانزیستورها، لیزرها، میکروماشین‌ها، حسگرها و هدهای خواندن/نوشتن مغناطیسی را که اساس عصر اطلاعات ما را تشکیل داده‌اند، به‌طور مداوم کوچک‌تر را قادر ساخته است. این جلد اولین جلدی است که این حوزه وسیع از موضوعات را به صورت دقیق پوشش می دهد، به ویژه در زمینه های به سرعت در حال گسترش ماشین های میکرو مکانیکی، ساخت ماسک های عکس، ذخیره سازی داده های مغناطیسی و مدل سازی راکتور. این مجموعه طیف گسترده ای از موضوعات را در اختیار خواننده قرار می دهد که توسط متخصصان برجسته در این زمینه تألیف شده است.

This volume covers the topic of advanced plasma processing techniques, from the fundamental physics of plasmas to diagnostics, modeling and applications such as etching and deposition for microelectronics. The use of plasmas for patterning on a submicron scale has enabled successive generations of continually smaller transistors, lasers, micromachines, sensors and magnetic read/write heads that have formed the basis of our information age. This volume is the first to give coverage to this broad area of topics in a detailed fashion, especially in the rapidly expanding fields of micro-mechanical machines, photomask fabrication, magnetic data storage and reactor modeling. It provides the reader with a broad array of topics, authored by the leading experts in the field.