Grundlagen zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme

استفاده از سیستم‌های جابجایی در محصولاتی که در اتاق‌های تمیز انجام می‌شوند به دلایل به حداقل رساندن آلودگی اهمیت فزاینده‌ای پیدا می‌کنند. سیستم های مورد استفاده معمولا بر اساس جنبه های عملکردی هستند. در این نشریه، یک روش اندازه گیری برای بومی سازی منابع ذرات در سیستم های جابجایی ارائه شده است. با کمک این روش اندازه‌گیری، مجموعه‌های ضروری سیستم‌های جابجایی با توجه به انتشار ذرات آن‌ها مورد بررسی قرار می‌گیرند و اصلاحات به منظور به حداقل رساندن انتشار ذرات ایجاد می‌شوند. یافته های اساسی تحقیقات اساسی در 10 دستورالعمل خلاصه شده است. با استفاده از آنها می توان سیستم های هندلینگ مناسب برای اتاق های تمیز را توسعه داد. روش اندازه گیری ویژه برای بومی سازی نقاط ضعف موجود است. با کمک این دو ابزار، می توان یک سیستم بهینه با حداقل انتشار ذرات راه اندازی کرد.

Der Einsatz von Handhabungssystemen in Fertigungen, die in Reinräumen stattfinden, gewinnt aus Gründen der Kontaminationsminimierung zunehmend an Bedeutung. Die eingesetzten Systeme basieren in der Regel auf funktionalen Gesichtspunkten. In der vorliegenden Veröffentlichung wird eine Meßmethode zur Lokalisierung von Partikelquellen an Handhabungssystemen aufgezeigt. Mit Hilfe dieser Meßmethodik werden die wesentlichen Baugruppen von Handhabungssystemen bezüglich ihrer Partikelemission untersucht sowie Modifikationen zum Zwecke der Minimierung der Partikelemission entwickelt. Die wesentlichen Erkenntnisse der zugrundeliegenden Untersuchungen werden in 10 Richtlinien zusammengefaßt. Mit deren Anwendung ist es möglich, reinraumtaugliche Handhabungssysteme zu entwickeln. Zur Lokalisierung von Schwachstellen steht die spezielle Meßmethodik zur Verfügung. Mit Hilfe dieser beiden Instrumentarien ist es möglich, ein optimales System mit minimaler Partikelemission aufzubauen.