Fundamentals of Semiconductor Processing Technology

حرکت به سمت فناوری‌های نیمه‌رسانای جدید به‌طور پیچیده‌ای با تقاضای بازار برای مدارهای ارزان‌تر، کوچک‌تر، سریع‌تر و قابل اطمینان‌تر با مصرف انرژی کمتر مرتبط است. توسعه ابزارها و فناوری های پردازشی جدید با هدف بهینه سازی یک یا چند مورد از این الزامات است. با این حال، این هدف تنها با تلاشی هماهنگ بین دانشمندان، مهندسان، تکنسین ها و اپراتورها در تحقیق، توسعه و تولید قابل دستیابی است. بنابراین مهم است که متخصصان در رشته‌های خاص، مانند طراحی دستگاه و مدار، اصل، قابلیت‌ها و محدودیت‌های ابزارها و فناوری‌های پردازش را درک کنند. همچنین مهم است که کسانی که روی فرآیندهای واحد خاص مانند لیتوگرافی یا فرآیندهای داغ کار می کنند، با سایر فرآیندهای واحد مورد استفاده برای تولید محصول آشنا باشند. چندین کتاب عالی با موضوع فناوری های فرآیندی منتشر شده است. با این حال، این متون موضوعات را با جزئیات بیش از حد پوشش می دهند، یا موضوعات مهم برای فناوری های مدرن را پوشش نمی دهند. این کتاب با در نظر گرفتن «پلی» بین رشته‌های مختلف نوشته شده است. در نظر گرفته شده است که بخش هایی از فناوری های پردازش مودم را که برای طراحی و ساخت مدارهای نیمه هادی بیشترین اهمیت را دارند به مهندسان و دانشمندان ارائه کند. این مطالب با جزئیات کافی برای درک و تجزیه و تحلیل تعاملات بین پردازش و سایر رشته‌های نیمه‌رسانا، مانند طراحی دستگاه‌ها و مدارها، پارامترهای الکتریکی، قابلیت اطمینان، و بازده ارائه شده است.

The drive toward new semiconductor technologies is intricately related to market demands for cheaper, smaller, faster, and more reliable circuits with lower power consumption. The development of new processing tools and technologies is aimed at optimizing one or more of these requirements. This goal can, however, only be achieved by a concerted effort between scientists, engineers, technicians, and operators in research, development, and manufac­ turing. It is therefore important that experts in specific disciplines, such as device and circuit design, understand the principle, capabil­ ities, and limitations of tools and processing technologies. It is also important that those working on specific unit processes, such as lithography or hot processes, be familiar with other unit processes used to manufacture the product. Several excellent books have been published on the subject of process technologies. These texts, however, cover subjects in too much detail, or do not cover topics important to modem tech­ nologies. This book is written with the need for a "bridge" between different disciplines in mind. It is intended to present to engineers and scientists those parts of modem processing technologies that are of greatest importance to the design and manufacture of semi­ conductor circuits. The material is presented with sufficient detail to understand and analyze interactions between processing and other semiconductor disciplines, such as design of devices and cir­ cuits, their electrical parameters, reliability, and yield.