Fundamentals of Nanoscale Film Analysis

علم و فناوری مدرن، از علم مواد گرفته تا توسعه مدارهای مجتمع، به سمت مقیاس نانو هدایت شده است. از لایه های نازک گرفته تا ترانزیستورهای اثر میدانی، تاکید بر کاهش ابعاد از میکرو به مقیاس نانو است. مبانی تجزیه و تحلیل فیلم در مقیاس نانو بر تجزیه و تحلیل ساختار و ترکیب سطح و عمق چند ده تا صد نانومتری بیرونی متمرکز است. این روش تکنیک‌های مشخص‌سازی را برای تعیین کمیت ساختار، ترکیب و توزیع عمق مواد با استفاده از ذرات و فوتون‌های پرانرژی توصیف می‌کند.

این کتاب اصول توصیف مواد را از دیدگاه فوتون‌ها یا ذراتی که ساختارهای نانومقیاس را بررسی می‌کنند، شرح می‌دهد. این واکنش های القایی منجر به گسیل انواع ذرات و فوتون های شناسایی شده می شود. این انرژی و شدت پرتوهای شناسایی شده است که اساس خصوصیات مواد است. مجموعه ای از تکنیک های تجربی مورد استفاده در تجزیه و تحلیل مواد در مقیاس نانو، طیف گسترده ای از ذرات فرودی و برهمکنش های پرتو شناسایی شده را پوشش می دهد.

برهم کنش های مهمی مانند برخورد اتمی، پراکندگی عقب رادرفورد، کانال یابی یونی، پراش، جذب فوتون، تابش را شامل می شود. و انتقال های غیر تشعشعی و واکنش های هسته ای. انواع تکنیک های میکروسکوپ کاوشگر تحلیلی و روبشی به تفصیل ارائه شده است.

Modern science and technology, from materials science to integrated circuit development, is directed toward the nanoscale. From thin films to field effect transistors, the emphasis is on reducing dimensions from the micro to the nanoscale. Fundamentals of Nanoscale Film Analysis concentrates on analysis of the structure and composition of the surface and the outer few tens to hundred nanometers in depth. It describes characterization techniques to quantify the structure, composition and depth distribution of materials with the use of energetic particles and photons.

The book describes the fundamentals of materials characterization from the standpoint of the incident photons or particles which interrogate nanoscale structures. These induced reactions lead to the emission of a variety of detected of particles and photons. It is the energy and intensity of the detected beams that is the basis of the characterization of the materials. The array of experimental techniques used in nanoscale materials analysis covers a wide range of incident particle and detected beam interactions.

Included are such important interactions as atomic collisions, Rutherford backscattering, ion channeling, diffraction, photon absorption, radiative and nonradiative transitions, and nuclear reactions. A variety of analytical and scanning probe microscopy techniques are presented in detail.