دسترسی نامحدود
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
برای ارتباط با ما می توانید از طریق شماره موبایل زیر از طریق تماس و پیامک با ما در ارتباط باشید
در صورت عدم پاسخ گویی از طریق پیامک با پشتیبان در ارتباط باشید
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
درصورت عدم همخوانی توضیحات با کتاب
از ساعت 7 صبح تا 10 شب
ویرایش: 2
نویسندگان: Vivek Bakshi
سری: SPIE Press Monographs
ISBN (شابک) : 1510616780, 9781510616783
ناشر: Society of Photo Optical
سال نشر: 2018
تعداد صفحات: 760
زبان: English
فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود)
حجم فایل: 150 مگابایت
کلمات کلیدی مربوط به کتاب لیتوگرافی Euv: مهندسی، هوافضا، خودرو، مهندسی زیستی، شیمی، عمران و محیط زیست، مدل سازی کامپیوتری، ساخت و ساز، طراحی، برق و الکترونیک، تولید و استخراج انرژی، سیستم های صنعتی، ساخت و عملیات، مهندسی دریایی، فناوری مواد و مواد، علوم مواد و مواد مرجع، ارتباطات و حسگرها، مهندسی و حمل و نقل، نور، فیزیک، علوم و ریاضیات، اپتیک، فیزیک، علوم و ریاضی، کتابهای درسی جدید، مستعمل و اجاره، تجارت و مالی، ارتباطات و ژورنال
در صورت تبدیل فایل کتاب Euv Lithography به فرمت های PDF، EPUB، AZW3، MOBI و یا DJVU می توانید به پشتیبان اطلاع دهید تا فایل مورد نظر را تبدیل نمایند.
توجه داشته باشید کتاب لیتوگرافی Euv نسخه زبان اصلی می باشد و کتاب ترجمه شده به فارسی نمی باشد. وبسایت اینترنشنال لایبرری ارائه دهنده کتاب های زبان اصلی می باشد و هیچ گونه کتاب ترجمه شده یا نوشته شده به فارسی را ارائه نمی دهد.
لیتوگرافی فرابنفش شدید (EUVL) فناوری لیتوگرافی اصلی است - فراتر از لیتوگرافی نوری مبتنی بر 193 نانومتر فعلی - با هدف تولید تراشههای کامپیوتری، و پیشرفتهای اخیر در چندین جبهه حاصل شده است: منابع نور EUV، اسکنرها، اپتیک، کنترل آلودگی، ماسک و دست زدن به ماسک، و مقاومت می کند. این کتاب وضعیت اساسی و آخرین وضعیت تمام جنبه های EUVL مورد استفاده در این زمینه را پوشش می دهد. از سال 2008، زمانی که SPIE Press اولین نسخه لیتوگرافی EUVL را منتشر کرد، پیشرفت زیادی در توسعه EUVL به عنوان فناوری انتخابی برای لیتوگرافی نسل بعدی صورت گرفته است. در سال 2008، EUVL یکی از رقبای اصلی برای جایگزینی لیتوگرافی نوری مبتنی بر 193 نانومتر در ساخت تراشه های کامپیوتری پیشرفته بود، اما همه در آن مرحله قانع نشدند. تغییر از طول موج 193 نانومتر به 13.5 نانومتر جهشی بسیار بزرگتر از آنچه صنعت قبلاً انجام داده بود بود. چندین چالش دشوار در تمام زمینههای لیتوگرافی-منبع نور، اسکنر، ماسک، مدیریت ماسک، اپتیک، مترولوژی اپتیک، مقاومت، محاسبات، مواد و آلودگی نوری به همراه داشت. این چالشها به طور موثر حل شدهاند و چندین سازنده تراشههای پیشرو تاریخهایی را که از سال 2018 شروع میشود، برای وارد کردن EUVL در تولید با حجم بالا اعلام کردهاند. این جلد جامع شامل مشارکتهای محققان پیشرو EUVL در جهان است و اطلاعات حیاتی مورد نیاز پزشکان و کسانی که میخواهند در این زمینه معرفی شوند را ارائه میدهد. علاقه به فناوری EUVL همچنان در حال افزایش است و این حجم پایه و اساس مورد نیاز برای درک و بکارگیری این فناوری هیجان انگیز را فراهم می کند. این کتاب برای افرادی در نظر گرفته شده است که در یک یا چند جنبه از EUVL درگیر هستند و همچنین برای دانش آموزانی که این متن را به همان اندازه ارزشمند می دانند.
Extreme ultraviolet lithography (EUVL) is the principal lithography technology-beyond the current 193-nm-based optical lithography-aiming to manufacture computer chips, and recent progress has been made on several fronts: EUV light sources, scanners, optics, contamination control, masks and mask handling, and resists. This book covers the fundamental and latest status of all aspects of EUVL used in the field. Since 2008, when SPIE Press published the first edition of EUVL Lithography, much progress has taken place in the development of EUVL as the choice technology for next-generation lithography. In 2008, EUVL was a prime contender to replace 193-nm-based optical lithography in leading-edge computer chip making, but not everyone was convinced at that point. Switching from 193-nm to 13.5-nm wavelengths was a much bigger jump than the industry had attempted before. It brought several difficult challenges in all areas of lithography-light source, scanner, mask, mask handling, optics, optics metrology, resist, computation, materials, and optics contamination. These challenges have been effectively resolved, and several leading-edge chipmakers have announced dates, starting in 2018, for inserting EUVL into high-volume manufacturing. This comprehensive volume comprises contributions from the world's leading EUVL researchers and provides the critical information needed by practitioners and those wanting an introduction to the field. Interest in EUVL technology continues to increase, and this volume provides the foundation required for understanding and applying this exciting technology. This book is intended for people involved in one or more aspects of EUVL, as well as for students, who will find this text equally valuable.