Epitaxy: Physical Principles and Technical Implementation

Epitaxy یک بررسی جامع از مدل‌ها و اصلاحات مدرن اپیتاکسی، همراه با چارچوب تجربی و تکنولوژیکی مربوطه را در اختیار خوانندگان قرار می‌دهد. این کتاب درسی پیشرفته تمام جنبه‌های مهم فرآیندهای رشد همپایی لایه‌های جامد را بر روی بسترهای کریستالی، از جمله بخشی در هترواپیتاکسی توصیف می‌کند. این مقاله مهمترین تکنیک های رشد همپایی را که در حال حاضر به طور گسترده در تحقیقات پایه و همچنین در فرآیندهای ساخت دستگاه ها استفاده می شود، شامل اپیتاکسی فاز جامد، اپیتاکسی فاز مایع، اپیتاکسی فاز بخار، از جمله فلز-آلی را پوشش می دهد و بحث می کند. اپیتاکسی فاز بخار و اپیتاکسی پرتو مولکولی. پوشش فیلم نازک علم و تکنولوژی Epitaxy در نظر گرفته شده است تا نیاز به یک مرجع و متن جامع را بررسی کند که انواع مشکلات مربوط به پایه های فیزیکی و اجرای فنی تبلور اپیتاکسیال را بررسی کند. این برای دانشجویان مقطع کارشناسی، دانشجویان دکترا، دانشمندان محقق، مدرسان و مهندسان مجری علاقه مند به علم مواد، الکترونیک حالت جامد و رشد کریستال در نظر گرفته شده است.

Epitaxy provides readers with a comprehensive treatment of the modern models and modifications of epitaxy, together with the relevant experimental and technological framework. This advanced textbook describes all important aspects of the epitaxial growth processes of solid films on crystalline substrates, including a section on heteroepitaxy. It covers and discusses in details the most important epitaxial growth techniques, which are currently widely used in basic research as well as in manufacturing processes of devices, namely solid-phase epitaxy, liquid-phase epitaxy, vapor-phase epitaxy, including metal-organic vapor-phase epitaxy and molecular-beam epitaxy. Epitaxy’s coverage of science and texhnology thin-film is intended to fill the need for a comprehensive reference and text examining the variety of problems related to the physical foundations and technical implementation of epitaxial crystallization. It is intended for undergraduate students, PhD students, research scientists, lecturers and practicing engineers interested in materials science, solid state electronics and crystal growth.