دسترسی نامحدود
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
برای ارتباط با ما می توانید از طریق شماره موبایل زیر از طریق تماس و پیامک با ما در ارتباط باشید
در صورت عدم پاسخ گویی از طریق پیامک با پشتیبان در ارتباط باشید
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
درصورت عدم همخوانی توضیحات با کتاب
از ساعت 7 صبح تا 10 شب
ویرایش:
نویسندگان: George Brewer (Eds.)
سری:
ISBN (شابک) : 9780121335502, 0323153410
ناشر: Elsevier Science
سال نشر: 1980
تعداد صفحات: 367
زبان: English
فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود)
حجم فایل: 38 مگابایت
در صورت تبدیل فایل کتاب Electron-Beam Technology in Microelectronic Fabrication به فرمت های PDF، EPUB، AZW3، MOBI و یا DJVU می توانید به پشتیبان اطلاع دهید تا فایل مورد نظر را تبدیل نمایند.
توجه داشته باشید کتاب فناوری الکترون-پرتو در ساخت میکرو الکترونیک نسخه زبان اصلی می باشد و کتاب ترجمه شده به فارسی نمی باشد. وبسایت اینترنشنال لایبرری ارائه دهنده کتاب های زبان اصلی می باشد و هیچ گونه کتاب ترجمه شده یا نوشته شده به فارسی را ارائه نمی دهد.
Content:
CONTRIBUTORS, Page ii
Front Matter, Page iii
Copyright, Page iv
List of Contributors, Page vii
Preface, Pages ix-xi
1 - High resolution lithography, Pages 1-58, GEORGE R. BREWER
2 - Electron-beam processes, Pages 59-140, JAMES S. GREENEICH
3 - Electron-beam lithography machines, Pages 141-216, DONALD R. HERRIOTT, GEORGE R. BREWER
4 - Device fabrication by electron-beam lithography, Pages 217-257, RICHARD C. HENDERSON
5 - Mask fabrication by electron-beam lithography, Pages 259-307, J.P. BALLANTYNE
6 - Replication techniques, Pages 309-356, JACQUES TROTEL, BERNARD FAY
Index, Pages 357-362