Dynamics of Microelectromechanical Systems

این کار یک دیدگاه سیستماتیک از دینامیک MEMS (سیستم‌های میکروالکترومکانیکی)، ریزساختارها و پاسخ‌های آنها ارائه می‌کند. تمرکز بر حوزه میکرو مکانیکی/ساختاری و ماهیت سازگار انتقال مکانیکی است.

ویژگی‌های این کار عبارتند از:

• بررسی عمیق از مشکلاتی که شامل مدلسازی، تحلیل و طراحی قابل اعتماد هستند،
• مدل های تحلیلی با وابستگی صحیح به ابعاد خدمات،
• سیستم های مبتنی بر کنسول برای محققان و طراحان نانوساخت، و
• دینامیک میکروسیستم های پیچیده فنر و تیر.

اگرچه. این مطالب برای یک دوره خاص طراحی نشده است، این مطالب می تواند به عنوان یک متن در سطح فوق لیسانس/کارشناسی ارشد مورد استفاده قرار گیرد، و به این ترتیب، شامل نمونه های کاملاً حل شده متعدد و همچنین بسیاری از مسائل پایان فصل است. این ادامه کتاب مکانیک سیستم‌های میکروالکترومکانیکی، نوشته لوبونتیو و گارسیا (اسپرینگر 2004) است، اما مطالب این کتاب جدید مستقل است.

< /P>

Dynamics of Microelectromechanical Systems یک متن و مرجع به موقع برای مهندسان ریزساختار، مهندسان خرد و متخصصان MEMS است.

This work presents a systematic view of the dynamics of MEMS (microelectromechanical systems), microstructures, and their responses. The focus is on the mecahnical/structural micro domain and the compliant nature of mechanical transmission.

Features of this work include:

• An in-depth treatment of problems that involve reliable modeling, analysis and design,
• Analytical models with correct dependences on service dimensions,
• Cantilever based systems for nanofabrication researchers and designers, and
• Dynamics of complex spring and beam microsystems.

Although not designed for a specific course, this material could be used as a text at the upper-undergraduate/graduate level, and, as such, it contains numerous fully-solved examples as well as many end-of-the-chapter proposed problems. This is a follow up to the book, Mechanics of Microelectromechanical Systems, by Lobontiu and Garcia (Springer 2004), but the material in this new book is self-contained.

Dynamics of Microelectromechanical Systems is a timely text and reference for microstructural engineers, microengineers, and MEMS specialists.