Digital Holography for MEMS and Microsystem Metrology (Microsystem and Nanotechnology Series? ?(ME20))

Z......Page 
Series Preface xvii 14......Page 0014
Abbreviations xxi 18......Page 0018
topography, 1......Page 0020
modulation, 7......Page 0026
Fresnel, 9......Page 0028
fill factor, 10......Page 0029
transfer function, 13......Page 0032
2.3.1 Numerical Phase and 3D Measurements 23......Page 0042
--- map, 25......Page 0044
piezoelectric, 31......Page 0050
out-of-plane, 35......Page 0054
silicon on insulator, 39......Page 0058
References 50......Page 0069
3.1 Historical Introduction 51......Page 0070
vertical resolution, 53......Page 0072
3.2.1 Theoretical Analysis of Wavefront Interference 58......Page 0077
3.2.2 Digital Hologram Recording and Reconstruction 70......Page 0089
3.2.3 Different Numerical Reconstruction Algorithms 71......Page 0090
3.3 Digital Holographic Microscopy System 73......Page 0092
polynomial fitting procedure, 74......Page 0093
--- holographic microscope, 79......Page 0098
3.3.3 Common-Path Digital Holographic Microscope 84......Page 0103
--- distance objective, 92......Page 0111
3.3.5 Digital Holographic Microscopy with Quasi-Physical Spherical Phase Compensation: Light with Short Coherence Length 99......Page 0118
3.4 Conclusion 102......Page 0121
References 104......Page 0123
4.1 Background 109......Page 0127
4.2.1 Recording and Reconstruction 111......Page 0129
two-dimensional measurement, 114......Page 0132
edge detection, 116......Page 0134
4.3.3 Particle Focusing 117......Page 0135
depth profile, 118......Page 0136
4.4 Validation and Performance of the 2D Measurement Method 120......Page 0138
4.4.1 Verification of the Focusing Algorithm 121......Page 0139
4.4.2 Spherical Beads on a Glass Slide 123......Page 0141
microspheres, 124-5......Page 0142
4.4.5 Measurement of Microfibers 125......Page 0143
three-dimensional measurement, 128......Page 0146
point cloud, 129-30......Page 0147
size and orientation, 130......Page 0148
4.6.1 Experiment with a Single Fiber 134......Page 0152
4.6.2 3D Measurements of Micro-Fibers in Suspension 135......Page 0153
4.7 Conclusion 136......Page 0154
References 137......Page 0155
5 Other Applications      139......Page 0157
polarization multiplexing, 141-6,......Page 0158
5.1.1.1 The SM Technique 142......Page 0159
5.1.1.2 The ADM Technique 143......Page 0160
5.1.1.3 The WDM Technique 145......Page 0162
5.1.1.4 The PM Technique 146......Page 0163
5.1.2.1 Introduction 147......Page 0164
femto-second laser, 148-50......Page 0165
5.1.2.3 WDM in Pulsed Digital Holography 150......Page 0167
superresolution, 152-9......Page 0169
5.1.3.2 AMD in Digital Holography 153......Page 0170
--- 156-7......Page 0173
--- 159......Page 0176
References 160......Page 0177
three-reconstruction algorithms, 161......Page 0178
--- errors, 162......Page 0179
refraction effects, 166......Page 0183
two-dimensional distribution, 168......Page 0185
weighting factor, 170......Page 0187
5.2.4.2 Material Detection 172......Page 0189
projections, 175......Page 0192
scalar diffraction theory, 177......Page 0194
vibration analysis, 178......Page 0195
5.3.1.2 Principle of Digital Holographic Interferometry 180......Page 0197
--- (WLIM), 183......Page 0200
micro cantilever beam array, 185......Page 0202
optical waveguide, 186......Page 0203
standing wave node, 191......Page 0208
inspiriting current, 192......Page 0209
5.3.3.4 Measurement of Temperature Distribution in Air Field 193......Page 0210
turbulent flow field, 194......Page 0211
random fluctuation, 195......Page 0212
6 Conclusion      199......Page 0216
Index 201......Page 0218
reference wave, 53......Page 72
73......Page 92
74......Page 93
78......Page 97
83......Page 102
accelerometer, 34......Page 0053
space-bandwidth, 6......Page 0025
191......Page 208
192......Page 209
waveguide array, 186......Page 203
transform algorithm, 164......Page 0181
sparse projection, 169......Page 0186
polarization, 1......Page 20
wave field, 3......Page 22
15......Page 34
--- multiplexing, 141......Page 158
143......Page 160
--- 148......Page 165
156......Page 173
72......Page 91
81......Page 100
82......Page 101
88......Page 107
spatial spectrum, 179......Page 196
181......Page 198
projection values, 167......Page 0184
152......Page 169
153......Page 170
160......Page 177
--- 71......Page 90
sphericity, 119......Page 0137
non-axisymmetric, 173......Page 0190
reflection configuration, 184......Page 0201
184......Page 201
Bessel function, 17......Page 0036
mixing, 21......Page 0040
200......Page 217
185......Page 202
wavefronts, 4......Page 23
9......Page 28
recording and reconstruction, 52......Page 71
54......Page 73
70......Page 89
79......Page 98
164......Page 181
199......Page 216
temperature distribution, 178......Page 195
86......Page 105
93......Page 112
short coherence length, 99......Page 118
85......Page 104
103......Page 122
Upatniek, 8......Page 0027
short-coherence, 163......Page 0180
--- wavefront, 67......Page 0086
57......Page 76
61......Page 80
68......Page 87
spatial frequency domain, 69......Page 88
convolution, 12......Page 0031
spatial frequency, 179......Page 0196
off-line, 174......Page 0191
deflection, 20......Page 0039
20......Page 39
synthetic double-exposure, 180......Page 197
white-light, 183......Page 200
monochromatic, 51......Page 70
84......Page 103
spherical phase aberrations, 22......Page 0041
5......Page 24
--- distribution, 177......Page 194
182......Page 199
162......Page 179
8......Page 27
ultra-fast recording, 142......Page 159
150......Page 167
161......Page 178
rectangular coordinated system, 55......Page 0074
56......Page 75
28......Page 47
87......Page 106
yeast cells, 90......Page 109
microscopic imaging, 2......Page 21
tomography, 6......Page 25
dynamic digital holography, 26......Page 0045
vortex, 194......Page 211
image segmentation, 116......Page 134
117......Page 135
121......Page 139
122......Page 140
Yaroslavski, 52......Page 0071
Fourier transform, 12......Page 31
77......Page 96
resonant mode, 41......Page 60
94......Page 113
187......Page 204
189......Page 206
10......Page 29
7......Page 26
wrapped phase distribution, 187......Page 0204
120......Page 138
--- intensity, 113......Page 0131
193......Page 210
58......Page 77
illumination, 22......Page 41
75......Page 94
92......Page 111
131......Page 149
impulse response, 11......Page 0030
--- information, 4......Page 0023
18......Page 37
111......Page 129
13......Page 32
167......Page 184
21......Page 40
195......Page 212
inverse Fourier transfer, 19......Page 0038
irradiance, 54......Page 0073
147......Page 164
Suss microoptics, 95......Page 114
104......Page 123
thermographic, 3......Page 0022
localization of fiber, 132......Page 0150
113......Page 131
microfiber, 125......Page 143
134......Page 152
microheater, 36......Page 0055
31......Page 50
102......Page 121
plane wave field, 55......Page 74
--- 163......Page 180
175......Page 192
particle imaging, 200......Page 0217
planar waveguide array, 189......Page 0206
67......Page 86
96......Page 115
100......Page 119
--- 97......Page 116
out-of-plane tilt, 126......Page 0144
threshold, 118......Page 136
phagocyte vacuoles, 171......Page 0188
photorefractive effect, 188......Page 0205
plano-convex linear microlens array, 86......Page 0105
146......Page 163
spherical wave fields, 57......Page 0076
--- algorithms, 168......Page 185
114......Page 132
159......Page 176
112......Page 130
59......Page 78
65......Page 84
166......Page 183
symmetric mode, 41......Page 0060
single Fresnel transform formulation, 72......Page 0091
time-averaged, 16......Page 0035
101......Page 120
170......Page 187
speckle, 45......Page 64
17......Page 36
superimposition, 130......Page 148
174......Page 191
26......Page 45
129......Page 147
twin-image, 14......Page 0033
unwrap phase, 24......Page 0043
Vero cells, 97......Page 0116
16......Page 35
11......Page 30
--- 145......Page 162
zero-order, 14......Page 33
Переход к каталогу библиотеки - файлу Catalog_Library.djvu......Page Catalog_Library.djvu