Developments in Surface Contamination and Cleaning - Vol 7: Cleanliness Validation and Verification

از آنجایی که اندازه دستگاه‌ها در صنایع نیمه‌رسانا در حال کوچک شدن است، نسبت به ذرات آلاینده کوچک‌تر آسیب‌پذیرتر می‌شوند و اکثر تکنیک‌های تمیز کردن معمولی که در صنعت به کار می‌روند در مقیاس‌های کوچک‌تر کارآمد نیستند. مجموعه کتاب تحولات در آلودگی سطحی و تمیز کردن به عنوان یک کل منبع عالی اطلاعات در مورد این تکنیک های تمیز کردن جایگزین و همچنین روش هایی برای شناسایی و اعتبار سنجی آلودگی سطحی است. هر جلد دارای تمرکز موضوعی خاصی است که تکنیک های کلیدی و پیشرفت های اخیر در این منطقه را پوشش می دهد. فصل‌های این جلد به منابع آلودگی‌های سطحی و روش‌های مختلف برای جمع‌آوری و شناسایی آن‌ها و همچنین روش‌هایی برای اعتبارسنجی پاکیزگی می‌پردازد. جنبه های نظارتی تمیز کردن نیز پوشش داده شده است. مجموعه مباحث این کتاب بی نظیر است و مکمل دیگر مجلدات این مجموعه است. این کتاب ها که توسط متخصصان برجسته در زمینه آلودگی سطح ذرات در مقیاس کوچک، تمیز کردن و کنترل تمیز کردن ویرایش شده اند، مرجع ارزشمندی برای محققان و مهندسان در تحقیق و توسعه، ساخت، کنترل کیفیت و مشخصات تدارکاتی واقع در صنایع متعددی مانند: هوافضا، خودرو، زیست پزشکی، دفاع، انرژی، تولید، میکروالکترونیک، اپتیک و زیروگرافی.

این جلد مکمل دیگر مجلدات این مجموعه است و:

• یک نظرسنجی پیشرفته و بهترین راهنمای عملی را برای دانشمندان و مهندسان درگیر در تمیز کردن سطوح ارائه می‌کند. یا رسیدگی به عواقب آلودگی سطحی
• به روندهای مستمر کاهش اندازه دستگاه و آسیب پذیری آلودگی در طیف وسیعی از صنایع، که توسط صنعت نیمه هادی و سایرین هدایت می شود، می پردازد
• شامل جنبه های نظارتی جدید< /li>

As device sizes in the semiconductor industries are shrinking, they become more vulnerable to smaller contaminant particles, and most conventional cleaning techniques employed in the industry are not as effective at smaller scales. The book series Developments in Surface Contamination and Cleaning as a whole provides an excellent source of information on these alternative cleaning techniques as well as methods for characterization and validation of surface contamination. Each volume has a particular topical focus, covering the key techniques and recent developments in the area. The chapters in this Volume address the sources of surface contaminants and various methods for their collection and characterization, as well as methods for cleanliness validation. Regulatory aspects of cleaning are also covered. The collection of topics in this book is unique and complements other volumes in this series. Edited by the leading experts in small-scale particle surface contamination, cleaning and cleaning control, these books will be an invaluable reference for researchers and engineers in R&D, manufacturing, quality control and procurement specification situated in a multitude of industries such as: aerospace, automotive, biomedical, defense, energy, manufacturing, microelectronics, optics and xerography.

This Volume complements other volumes in this series and:

• Provides a state-of-the-art survey and best-practice guidance for scientists and engineers engaged in surface cleaning or handling the consequences of surface contamination
• Addresses the continuing trends of shrinking device size and contamination vulnerability in a range of industries, spearheaded by the semiconductor industry and others
• Includes new regulatory aspects