Developments in Surface Contamination and Cleaning: Cleaning Techniques

با کوچک شدن اندازه دستگاه‌ها در صنایع نیمه‌رسانا، دستگاه‌ها در برابر ذرات آلاینده کوچک‌تر آسیب‌پذیر می‌شوند و اکثر تکنیک‌های تمیز کردن معمولی که در صنعت به کار می‌روند در مقیاس‌های کوچک‌تر مؤثر نیستند. مجموعه کتاب تحولات در آلودگی سطحی و تمیز کردن به طور کلی منبع اطلاعاتی عالی در مورد این تکنیک‌های تمیز کردن جایگزین و همچنین روش‌هایی برای شناسایی و اعتبارسنجی آلودگی سطحی است. هر جلد دارای تمرکز موضوعی خاصی است که تکنیک های کلیدی و پیشرفت های اخیر در این منطقه را پوشش می دهد. چند روش جدید تمیز کردن سطح مرطوب و خشک در این جلد مورد بررسی قرار گرفته است. بسیاری از این روش‌ها قبلاً بررسی نشده‌اند یا بررسی‌های قبلی دارای تاریخ هستند. این روش ها کاربرد تجاری فزاینده ای پیدا می کنند و اطلاعات این کتاب برای خواننده ارزش بالایی خواهد داشت. این کتاب ها که توسط متخصصان برجسته در زمینه آلودگی سطح ذرات در مقیاس کوچک، تمیز کردن و کنترل تمیز کردن ویرایش شده اند، مرجع ارزشمندی برای محققان و مهندسان در تحقیق و توسعه، ساخت، کنترل کیفیت و مشخصات تدارکات واقع در بسیاری از صنایع مانند: هوافضا، خودروسازی خواهد بود. ، زیست پزشکی، دفاع، انرژی، تولید، میکروالکترونیک، اپتیک و زیروگرافی.

این جلد مکمل دیگر مجلدات این مجموعه است و:

• یک نظرسنجی پیشرفته و بهترین راهنمای عملی را برای دانشمندان و مهندسان درگیر در تمیز کردن سطوح ارائه می‌کند. یا رسیدگی به عواقب آلودگی سطحی
• به روندهای مستمر کاهش اندازه دستگاه و آسیب پذیری آلودگی در طیف وسیعی از صنایع می پردازد که توسط صنعت نیمه هادی و سایر صنایع هدایت می شود
• مربوط به خشک و مرطوب جدید می شود. روش های تمیز کردن سطوح با اهمیت تجاری فزاینده

As device sizes in the semiconductor industries shrink, devices become more vulnerable to smaller contaminant particles, and most conventional cleaning techniques employed in the industry are not effective at smaller scales. The book series Developments in Surface Contamination and Cleaning as a whole provides an excellent source of information on these alternative cleaning techniques as well as methods for characterization and validation of surface contamination. Each volume has a particular topical focus, covering the key techniques and recent developments in the area. Several novel wet and dry surface cleaning methods are addressed in this Volume. Many of these methods have not been reviewed previously, or the previous reviews are dated. These methods are finding increasing commercial application and the information in this book will be of high value to the reader. Edited by the leading experts in small-scale particle surface contamination, cleaning and cleaning control these books will be an invaluable reference for researchers and engineers in R&D, manufacturing, quality control and procurement specification situated in a multitude of industries such as: aerospace, automotive, biomedical, defense, energy, manufacturing, microelectronics, optics and xerography. 

This Volume complements other volumes in this series and:

• provides a state-of-the-art survey and best-practice guidance for scientists and engineers engaged in surface cleaning or handling the consequences of surface contamination
• addresses the continuing trends of shrinking device size and contamination vulnerability in a range of industries, spearheaded by the semiconductor industry and others
• covers novel wet and dry surface cleaning methods of increasing commercial importance