Comprehensive Microsystems

Cover......Page 1
Editors-in-Chief......Page 2
Preface......Page 5
Foreword......Page 8
1.01 Silicon and Related Materials......Page 10
1.02 Compound Semiconductors......Page 33
1.03 Metals and Alloys......Page 60
1.04 Polymers......Page 81
1.05 Biocompatibility of Microsystems......Page 112
1.06 Harsh Environment Materials......Page 136
1.07 Wet Etching......Page 187
1.08 Dry Etching......Page 220
1.09 Wafer Bonding......Page 237
1.10 Electrodeposition......Page 273
1.11 LIGA......Page 295
1.12 Low-Cost MEMS Technologies......Page 343
1.13 Micromachining......Page 381
1.14 Self-Assembly......Page 405
1.15 Packaging......Page 432
1.16 Interface Circuits......Page 465
1.17 Testing, Calibration and Compensation......Page 494
1.18 Multiphysics and Multiscale Simulation......Page 538
1.19 Systematic Synthesis Methods......Page 557
2.01 Electrostatic Actuation......Page 582
2.02 Magnetic Actuation......Page 620
2.03 Thermal Actuation......Page 650
2.04 Pressure Sensors......Page 682
2.05 Accelerometers......Page 715
2.06 Vibrating Gyroscopes......Page 761
2.07 Flow Sensors......Page 789
2.08 Gas Micropumps......Page 853
2.09 Liquid Micropumps......Page 880
2.10 Mixers......Page 902
2.11 Gas Sensors......Page 953
2.12 Chemical Sensors......Page 1011
2.13 Microfluidic for Lab-on-a-Chip......Page 1040
2.14 Ultrasonic Transduction......Page 1094
2.15 Tissue Engineering......Page 1117
3.01 Micro-Mirrors......Page 1160
3.02 Diffractive and Defractive Micro-optics......Page 1223
3.03 Photonic Crystals......Page 1258
3.04 IR Imaging......Page 1270
3.05 Integrated Optics......Page 1321
3.06 Artificial Retinas......Page 1356
3.07 Optical Communications......Page 1373
3.08 Micro-Imaging Systems......Page 1420
3.09 Biophotonics......Page 1445
3.10 RF MEMS......Page 1474
3.11 Ink Jets......Page 1485
3.12 Automotive Applications......Page 1519
3.13 Environmental Monitoring......Page 1541
3.14 Medical Applications......Page 1571
3.15 Micro-Combustion......Page 1625
3.16 Micro-Coolers......Page 1648
3.17 Resonators, Oscillators, and Frequency References......Page 1700
3.18 MEMS Atomic Clocks......Page 1720
3.19 Micro-Fuel Cells......Page 1762
3.20 Molecular Machine-Based NEMS......Page 1784