CMOS Hotplate Chemical Microsensors

این اولین کتاب جامع در مورد سیستم‌های حسگر شیمیایی مبتنی بر microhotplate در فناوری CMOS است. همه جنبه‌های نمونه‌سازی موفق حسگر را پوشش می‌دهد: نظریه مدل‌سازی مبدل، ملاحظات طراحی میکروالکترونیک، مسائل طراحی سیستم، و مسائل مربوط به ریزساخت سیستم و دستگاه، بسته‌بندی و آزمایش. انواع هیت‌پلیت‌های مختلف برای شرایط عملیاتی مختلف به تفصیل شرح داده شده‌اند و خانواده‌ای از سیستم‌های میکروسنسور مبتنی بر ریزهت‌پلیت پوشش‌دهی شده با اکسید فلزی با پیچیدگی فزاینده ارائه شده‌اند. این سیستم‌ها متعلق به نسل جدیدی از ریزحسگرهای شیمیایی هستند و نمونه‌هایی از ادغام موفقیت‌آمیز نانومواد، میکروفناوری و میکروالکترونیک را نشان می‌دهند.

این کتاب مقدمه‌ای در دسترس برای دانشجویان، دانشمندان و مهندسان در زمینه ریزهت‌پلیت فراهم می‌کند. سنجش شیمیایی، با تمام دانش اساسی لازم. فراتر از آن، همچنین اطلاعات دقیقی در مورد تمام مسائل مهم در مورد سیستم های میکروسنسور شیمیایی CMOS با کارایی بالا ارائه می دهد. از این رو برای کارشناسانی که از قبل با این حوزه آشنا هستند نیز ارزشمند خواهد بود.

This is the first comprehensive book on microhotplate-based chemical sensor systems in CMOS-technology. It covers all aspects of successful sensor prototyping: theory of transducer modelling, microelectronics design considerations, system design issues, and issues related to system and device microfabrication, packaging, and testing. A variety of different hotplates for different operation conditions is detailed and a family of metal-oxide-covered microhotplate-based microsensor systems with increasing complexity is presented. These systems belong to a new generation of chemical microsensors and represent examples of the successful integration of nanomaterials, microtechnology and microelectronics.

The book provides students, scientists and engineers with an accessible introduction to the field of microhotplate-based chemical sensing, with all the necessary fundamental knowledge included. Beyond that, it also provides detailed information on all important issues concerning complex high-performance CMOS chemical microsensor systems; hence it will also be valuable to experts already familiar with the field.