Chemical Vapor Deposition Polymerization: The Growth and Properties of Parylene Thin Films

پلیمریزاسیون رسوب شیمیایی بخار - رشد و خواص لایه‌های نازک پاریلن برای کاربران و محققین لایه‌های نازک پاریلن ارزشمند است. این باید به ویژه برای کسانی که اولین سیستم رسوب تحقیقات خود را راه اندازی و توصیف می کنند مفید باشد. تصویر خوبی از فرآیند و تجهیزات رسوب گذاری و همچنین اطلاعاتی در مورد تغییرات سیستم به سیستم ارائه می دهد که در هنگام طراحی یک سیستم رسوب گذاری یا ایجاد تغییرات در سیستم موجود مهم است. همچنین شامل روش هایی برای مشخص کردن ویژگی های پمپاژ یک سیستم رسوب گذاری و همچنین نظارت بر فرآیند رسوب گذاری از طریق طیف سنجی جرمی است. منابع زیادی وجود دارد که خواننده را به اطلاعات بیشتر در مورد موضوع مورد بحث هدایت می کند.
این متن باید به‌عنوان منبع مرجع و کتابچه راهنمای مفیدی برای دانشمندان و مهندسان علاقه‌مند به رسوب‌گذاری لایه‌های نازک پاریلنی با کیفیت بالا باشد.

Chemical Vapor Deposition Polymerization - The Growth and Properties of Parylene Thin Films is intended to be valuable to both users and researchers of parylene thin films. It should be particularly useful for those setting up and characterizing their first research deposition system. It provides a good picture of the deposition process and equipment, as well as information on system-to-system variations that is important to consider when designing a deposition system or making modifications to an existing one. Also included are methods to characterizae a deposition system's pumping properties as well as monitor the deposition process via mass spectrometry. There are many references that will lead the reader to further information on the topic being discussed.
This text should serve as a useful reference source and handbook for scientists and engineers interested in depositing high quality parylene thin films.