دسترسی نامحدود
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
برای ارتباط با ما می توانید از طریق شماره موبایل زیر از طریق تماس و پیامک با ما در ارتباط باشید
در صورت عدم پاسخ گویی از طریق پیامک با پشتیبان در ارتباط باشید
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
درصورت عدم همخوانی توضیحات با کتاب
از ساعت 7 صبح تا 10 شب
دسته بندی: علوم (عمومی) ویرایش: 1st نویسندگان: Arthur Sherman سری: ISBN (شابک) : 0815511361, 9780815516392 ناشر: سال نشر: 1989 تعداد صفحات: 229 زبان: English فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود) حجم فایل: 11 مگابایت
کلمات کلیدی مربوط به کتاب رسوب بخار شیمیایی برای میکروالکترونیک: اصول، فناوری و کاربردها (علوم مواد و فناوری فرآیند): مواد میان رشته ای
در صورت تبدیل فایل کتاب Chemical Vapor Deposition for Microelectronics: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology) به فرمت های PDF، EPUB، AZW3، MOBI و یا DJVU می توانید به پشتیبان اطلاع دهید تا فایل مورد نظر را تبدیل نمایند.
توجه داشته باشید کتاب رسوب بخار شیمیایی برای میکروالکترونیک: اصول، فناوری و کاربردها (علوم مواد و فناوری فرآیند) نسخه زبان اصلی می باشد و کتاب ترجمه شده به فارسی نمی باشد. وبسایت اینترنشنال لایبرری ارائه دهنده کتاب های زبان اصلی می باشد و هیچ گونه کتاب ترجمه شده یا نوشته شده به فارسی را ارائه نمی دهد.
یک مطالعه گسترده و جامع از رسوب بخار شیمیایی (CVD) ارائه می دهد. درک CVD مستلزم دانش مکانیک سیالات، فیزیک پلاسما، ترمودینامیک شیمیایی و سینتیک و همچنین واکنش های شیمیایی همگن و ناهمگن است. این متن این جنبههای CVD را به صورت یکپارچه ارائه میکند، و همچنین فیلمها را برای استفاده در فناوری مدارهای مجتمع بررسی میکند.
Presents an extensive, comprehensive study of chemical vapor deposition (CVD). Understanding CVD requires knowledge of fluid mechanics, plasma physics, chemical thermodynamics, and kinetics as well as homogenous and heterogeneous chemical reactions. This text presents these aspects of CVD in an integrated fashion, and also reviews films for use in integrated circuit technology.
MATERIALS SCIENCE AND PROCESS TECHNOLOGY SERIES......Page 3
CHEMICAL VAPOR DEPOSITIONFOR MICROELECTRONICS......Page 4
Preface......Page 6
Contents......Page 10
1 Fundamentals of Thermal CVD......Page 14
2 Fundamentals of Plasma-Assisted CVD......Page 53
3 Thermal CVD of Dielectrics and Semiconductors......Page 79
4 Thermal CVD of Metallic Conductors......Page 105
5 Plasma-Enhanced CVD......Page 132
6 Production CVD Reactor Systems......Page 163
7 Film Evaluation Techniques......Page 188
Index......Page 226