BioNanoFluidic MEMS

BioNanoFluidic MEMS نانوساخت و سنتز نانومواد مناسب برای توسعه حسگرهای زیستی را توضیح می دهد. اصول اولیه باعث ایجاد آگاهی برای مهندسان و دانشمندانی می شود که می خواهند حسگرهای زیستی جدید را برای کاربردهای مختلف توسعه و پیاده سازی کنند. علاوه بر این، مطالب تحت پوشش شامل:

• ارتباط BioNanoFluidic MEMS بین ماهیت بین رشته ای
  BioNanoFluidics و MEMS
  

</ P>

• BioNanoFluidics و فناوری حسگر از جمله سنسورهای میکرو مکانیکی و فناوری‌های حسگر شیمیایی

< LI>مراحل عملی برای اجرای ساخت حسگر زیستی شامل بحث در مورد فرآیند لیتوگرافی اتاق تمیز و اچینگ، لایه‌گذاری سیستم‌های میکروسنسور، قالب‌گیری PDMS، رسوب پاریلن، و موارد دیگر

• ارتباط بین ماهیت بین رشته ای BioNanoFluidics و MEMS

• BioNanoFluidics و تکنولوژی حسگرها شامل حسگرهای میکرو مکانیکی و سنسورهای شیمیایی
  
• بحث فرآیندهای ساخت برای اجرای حسگرهای زیستی و نانوشیمیایی از جمله فرآیند لیتوگرافی اتاق تمیز، اچینگ، رسوب بخار شیمیایی، آبکاری الکتریکی، لایه‌گذاری سیستم‌های میکروسنسور، قالب‌گیری PDMS، رسوب پاریلن و موارد دیگر

\" MEMS Reference Shelf مجموعه‌ای است که به سیستم‌های میکرو الکترومکانیکی (MEMS) اختصاص دارد که عناصر مکانیکی، الکتریکی، نوری یا سیال را روی یک بستر میکروساخت مشترک ترکیب می‌کنند تا حسگرها، محرک‌ها و میکروسیستم‌ها را ایجاد کنند. این مجموعه که توسط متخصصان برجسته MEMS تألیف شده است، در تلاش است تا چارچوبی را ارائه دهد که در آن اصول اولیه، روش‌شناسی شناخته شده و برنامه‌های کاربردی جدید به شیوه‌ای منسجم و سازگار ادغام شوند.\"

STEPHEN D. SENTURIA موسسه فناوری ماساچوست، استاد مهندسی برق، Emiritus

BioNanoFluidic MEMS explains nanofabrication and nanomaterials synthesis suitable for the development of biosensors. The fundamentals initiate an awareness for engineers and scientists who would like to develop and implement novel biosensors for various applications. In addition, the material covered includes:

• BioNanoFluidic MEMS connection between the interdisciplinary nature of
  BioNanoFluidics and MEMS
  
• BioNanoFluidics and sensor technology including Micro-Mechanical Sensors and Chemical Sensor Technologies

• Hands-on steps for implementation of biosensor fabrication including a discussion of the clean room lithography process and etching, microsensor systems lamination, PDMS moulding, parylene deposition, and others

• Interconnection between the interdisciplinary nature of BioNanoFluidics and MEMS

• BioNanoFluidics and sensor technology including Micro-Mechanical Sensors and Chemical Sensor Technologies
  
• Discussion of fabrication processes for implementation of biosensor and nanochemical sensors including the clean room lithography process, etching, chemical vapor deposition, electroplating, microsensor systems lamination, PDMS moulding, parylene deposition, and others

• Selected coverage of Nano/Microfabrication, Nano Manufacturing and Nano/Micro Integration
  

"The MEMS Reference Shelf is a series devoted to Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS), which combine mechanical,electrical, optical, or fluidic elements on a common microfabricated
substrate to create sensors, actuators, and microsystems. This series,authored by leading MEMS practitioners, strives to provide a framework where basic principles, known methodologies, and new applications are integrated in a coherent and consistent manner."

STEPHEN D. SENTURIAMassachusetts Institute of Technology, Professor of Electrical Engineering, Emiritus